手持式四探针方阻测试仪,四探针电阻测试仪,硅片电阻率测量的标准(ASTM F84);GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》
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  • 手持式四探针方阻测试仪

    发布时间: 2019-08-28 11:30:48 点击: 434
    手持式四探针方阻测试仪

    FT-391系列手持式四探针方阻测试仪详情介绍

    FT-391 Series handheld four-probe resistance tester

    概述Overview:

    参照硅片电阻率测量的标准(ASTM F84);GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》;GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》;GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》,

    采集集成电路恒流源系统,可充电式电源系统,上下限设定.

     

    功能介绍Function introduction:

    手持式外型结构,适用于车间生产、品管抽检,外出携带测量的场所;也适用于中小型半导体材料生产企业.

    参数资料 Parameters:

    规格型号Specification model

    FT-391A

    FT-391B

    FT-391C

    1.方块电阻范围sheet resistance

    10~2.00×102Ω/□

    10~2.00×103Ω/□

    10~2.00×104Ω/□

    2.电阻率范围resistivity

    1~2×103Ω-cm

    1~2×104Ω-cm

    1~2×105Ω-cm

    3.分辨率resolution

    0.01Ω

    0.01Ω

    0.01Ω

    4.显示读数display

    液晶显示:电阻率、方阻、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 LCD: resistivity. sheet resistance. unit conversion. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness.

    5.测试方式test mode

    单电测量single electrical measurement

    6.工作电源working power

    5V.1000mA

    7. 误差errors

    ≤4.5%(标准样片结果standard samples)

    8.选配choose to buy

     选配1.方形探头; 选配2.直线形探头;探针间距;选配3:探针间距1mm;2mm;3mm三种规格; 选配4:探针材质:碳化钨针;镀金磷铜半球形针square probe; 2. linear probe; 3.Optional probe spacing: 1mm;2mm;3mm in three sizes.4.Select probe material: tungsten carbide needle.gilded copper hemispherical needles.



    FT-392 Series hand-held four-probe tester

    参数资料

    规格型号specification model

    FT-392A

    FT-392B

    FT-392C

    1.方块电阻范围sheet resistance

    0.1~2.00×102Ω/□

    0.1~2.00×103Ω/□

    0.1~2.00×104Ω/□

    2.电阻率范围resistivity range

    0.01~2×103Ω-cm

    0.01~2×104Ω-cm

    0.01~2×105Ω-cm

    3.分辨率resolution

    0.01Ω

    0.01Ω

    0.01Ω

    4.显示读数display

    液晶显示:电阻率、方阻、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 LCD: resistivity. sheet resistance. unit conversion. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness

    5.测试方式test mode

    单电测量/ single electrical measurement

    6.工作电源working power

    5V.1000mA

    7. 误差errors

    ≤4.5%(标准样片结果standard samples)

    8.选配choose to buy

     选配1.方形探头; 选配2.直线形探头;探针间距;选配3:探针间距1mm;2mm;3mm三种规格; 选配4:探针材质:碳化钨针;镀金磷铜半球形针1.square probe; 2. linear probe; 3.Optional probe spacing: 1mm;2mm;3mm in three sizes.4.Select probe material: tungsten carbide needle. gilded copper hemispherical needles.



    FT-393系列手持式方块电阻测试仪

    FT-393 Series of hand-held Square resistance tester

    技术参数资料

    规格型号specification model

    FT-393A

    FT-393B

    FT-393C

    1.方块电阻范围sheet resistance

    0.01~2.00×102Ω/□

    0.01~2.00×103Ω/□

    0.01~2.00×104Ω/□

    2.电阻率范围resistivity range

    0.001~2×103Ω-cm

    0.001~2×104Ω-cm

    0.001~2×105Ω-cm

    3.分辨率resolution

    0.001Ω

    0.001Ω

    0.001Ω

    4.显示读数display

    液晶显示:电阻率、方阻、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 LCD: resistivity. sheet resistance. unit conversion. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness

    5.测试方式test mode

    单电测量single electrical measurement

    6.工作电源working power

    5V.1000mA

    7.误差errors

    ≤4.5%(标准样片结果standard samples)

    8.选配choose to buy

     选配1.方形探头; 选配2.直线形探头;探针间距;选配3:探针间距1mm;2mm;3mm三种规格; 选配4:探针材质:碳化钨针;镀金磷铜半球形针1.square probe; 2. linear probe;

    3.Optional probe spacing: 1mm;2mm;3mm in three sizes.4.Select probe material: tungsten carbide needle. gilded copper hemispherical needles.



    FT-394系列手持式四探针电阻率测试仪

    FT-394 Series hand-held four-probe resistivity tester

    技术参数资料

    规格型号model

    FT-394A

    FT-394B

    FT-394C

    1.方块电阻sheet resistance

    0.001~2.00×102Ω/□

    0.001~2.00×103Ω/□

    0.001~2.00×104Ω/□

    2.电阻率resistivity range

    0.0001~2×103Ω-cm

    0.0001~2×104Ω-cm

    0.0001~2×105Ω-cm

    3.分辨率resolution

    0.001Ω

    0.001Ω

    0.001Ω

    4.显示读数display

    液晶显示:电阻率、方阻、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 LCD: resistivity. sheet resistance. unit conversion. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness

    5.测试方式test mode

    单电测量single electrical measurement

    6.工作电源working power

    5V.1000mA

    7.误差machine uncertain errors

    ≤4.5%(标准样片结果standard samples)

    8.选配choose to buy

     选配1.方形探头; 选配2.直线形探头;探针间距;选配3:探针间距1mm;2mm;3mm三种规格; 选配4:探针材质:碳化钨针;镀金磷铜半球形针1.square probe; 2. linear probe;

    3.Optional probe spacing: 1mm;2mm;3mm in three sizes.4.Select probe material: tungsten carbide needle. gilded copper hemispherical needles.




    适用范围Widely used:

    1.覆盖膜;导电高分子膜,高、低温电热膜;隔热、导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层,电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料,其他半导体材料、薄膜材料方阻测试

    2.硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻  半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件,导电薄膜(ITO导电膜玻璃等),金属膜,导电漆膜,蒸发铝膜,PCB铜箔膜,

    3.EMI涂层等物质的薄层电阻与电阻率  导电性油漆,导电性糊状物,导电性塑料,导电性橡胶,导电性薄膜,金属薄膜,

    4.抗静电材料, EMI 防护材料,导电性纤维,导电性陶瓷等,


    功能描述Description:

    1. 四探针单电测量方法

    2. 液晶显示,自动测量,自动量程,自动系数补偿.

    3. 集成电路系统、恒流输出.

    4. 提供中文或英文两种语言操作界面选择



    参照标准:

    1.硅片电阻率测量的标准(ASTM F84).

    2.GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》.

    3.GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》.

    4.GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》



    工作原理和计算公式

    1.四探针法测试薄层样品方阻计算和测试原理如下

    直线四探针测试布局如图8,相邻针距分别为S1、S2、S3,根据物理基础和电学原理:

    当电流通过1、4探针,2、3探针测试电压时计算如下:



    步骤及流程

    1. 开启电源,预热5分钟.

    2. 装配好探头和测试平台.

    3. 设定所需参数.

    4. 测量样品

    5. 导出数据.


     

    优点描述:

    1. 自动量程

    2. 准确稳定性.

    3. 双电组合测试方法

    4. 标准电阻校准仪器

    5. 同时显示电阻、电阻率、电导率数据.

    6. 可显示5位数字.

    7. 中、英文界面




    部分客户案例

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    服务项目

    1.质保:12个月,长期维护.

    2.培训:操作培训:

    电话教学;U盘教学文件;远程可视沟通;现场教学;说明书教学文件

    3.保养和维护:

    提供因知保养和维护文件、标识、表格 、保养提醒.

    4.验证文件:

    3Q验证文件、计量证书

    5.扩展服务:

    延保服务,样品测试服务,后延服务,仪器租赁服务.




    配套方案:


    解决各材料状态


    --固态、液态、气态、颗粒状 电阻、电阻率、电导率测量



    配套选择方案

    手持式四探针测试仪

    高温四探针测试仪

    普通四探针测试仪

    低阻四探针测试仪

    高阻四探针测试仪

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